Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Wafer etching creates silicon waveguides


    Erschienen in:

    LASER FOCUS WORLD ; 32 , 7 ; 26-29


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1996


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    621.366



    Local oxidation creates buried waveguides

    British Library Online Contents | 2001



    Full-wafer loss measurements of silicon ridge waveguides

    Gould, M. / Jing Li, / Baehr-Jones, T. et al. | IEEE | 2011


    Etching through silicon wafer in inductively coupled plasma

    Franssila, S. / Kiihamaki, J. / Karttunen, J. | British Library Online Contents | 2000


    Doped silicon creates new bolometer material

    Wauters, J. | British Library Online Contents | 1997