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    Titel :

    Etching through silicon wafer in inductively coupled plasma


    Beteiligte:
    Franssila, S. (Autor:in) / Kiihamaki, J. (Autor:in) / Karttunen, J. (Autor:in)

    Erschienen in:

    Erscheinungsdatum :

    01.01.2000


    Format / Umfang :

    4 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    629.83



    Wafer etching creates silicon waveguides

    British Library Online Contents | 1996


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    Xiaonan, C. / Peilin, Y. / Xuanming, P. | British Library Online Contents | 2004




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    Karlsson, M. / Hjort, K. / Nikolajeff, F. et al. | British Library Conference Proceedings | 2002