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    Titel :

    Excimer laser: a new tool for precision micromachining


    Beteiligte:
    Endert, H. (Autor:in) / Paetzel, R. (Autor:in) / Basting, D. (Autor:in)


    Erscheinungsdatum :

    1995-01-01


    Format / Umfang :

    18 pages



    Medientyp :

    Aufsatz (Zeitschrift)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch


    Klassifikation :

    DDC:    537.5



    Excimer Laser Micromachining/Marking

    Andrellos, Jack C. / Scaggs, Michael J. / Sowada, Ulrich | SAE Technical Papers | 1989


    Excimer laser microfabrication and micromachining [4088-24]

    Gower, M. C. / Japan Laser Processing Society / Institute of Physical and Chemical Research et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    Micromachining with waveguide excimer lasers

    Christensen, C. P. / Duignan, Michael T. / Rodriguez, Louis R. | SPIE | 1993


    High-repetition-rate excimer laser for micromachining [4971-16]

    Herbst, L. / Klaft, I. / Wenzel, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    Excimer laser micromachining based on dielectric masks [2246-07]

    Schmidt, H. / Ihlemann, J. / Wolff-Rottke, B. et al. | British Library Conference Proceedings | 1994