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    Titel :

    Deep UV Lithography for Planar Photonic Crystal Structures


    Beteiligte:

    Kongress:

    Annual meeting; 16th, IEEE Lasers & Electro-optics Society; LEOS 2003 ; 2003 ; Tucson, AZ



    Erscheinungsdatum :

    01.01.2003


    Format / Umfang :

    5 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat. no. 03CH37460




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Deep UV lithography for planar photonic crystal structures

    Bogaerts, W. / Dumon, P. / Van Campenhout, J. et al. | IEEE | 2003


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    Zhibiao Hao, / Shuo Han, / Jian Wang, et al. | IEEE | 2005



    Photonic Crystal with Diamond-like Structure Fabricated by Holographic Lithography

    Wang, H. | British Library Conference Proceedings | 2005


    Generation of photonic crystal patterns by single-spot electron beam lithography

    Kim, S. / Chong, H. / De La Rue, R.M. et al. | IEEE | 2003