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    Titel :

    Silicon Oxynitride in Integrated Optics



    Kongress:

    Annual meeting; 11th, IEEE: Lasers and Electro-Optics Society; LEOS '98 ; 1998 ; Orlando; FL



    Erscheinungsdatum :

    01.01.1998


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    IEEE cat no: 98CH36243




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    An IR spectroscopic study of silicon oxynitride films

    Priebe, A. / Walter, N. / Pucci, A. | IEEE | 2004


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    Dianov, E. M. / Golant, K. M. / Khrapko, R. R. et al. | British Library Online Contents | 1995


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