Zugriff

    Zugriff über TIB

    Verfügbarkeit in meiner Bibliothek prüfen

    Bestellung bei Subito €


    Exportieren, teilen und zitieren



    Titel :

    Semiconductor Ring Lasers Fabricated with UV Laser-assisted Cryo-etching



    Kongress:

    Annual meeting; 10th, IEEE; Lasers and Electro-Optics Society: LEOS '97 ; 1997 ; San Francisco; CA



    Erscheinungsdatum :

    1997-01-01


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    Described as proceedings. IEEE cat no: 97CH36057




    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    Deep UV laser-assisted cryo-etching of GaN

    Chih, M.C. / Chen, B.C. / Tsai, C.H. et al. | IEEE | 1997



    Laser-Assisted Dry Etching Of Semiconducting Materials

    Brewer, P / Holber, W / Reksten, G et al. | SPIE | 1984