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    Titel :

    1 kHz High Repetition Rate, Compact ArF Excimer Laser and Its Applications



    Kongress:

    8th Annual meeting, LEOS '95 ; 1995 ; San Francisco; CA


    Erschienen in:

    LEOS '95 ; 302-303


    Erscheinungsdatum :

    01.01.1995


    Format / Umfang :

    2 pages


    Anmerkungen:

    IEEE Cat no 95CH35739



    Medientyp :

    Aufsatz (Konferenz)


    Format :

    Print


    Sprache :

    Englisch




    5 kHz high repetition rate excimer laser

    Takagi, S. / Kakizaki, K. / Okamoto, N. et al. | IEEE | 1995


    High repetition rate KrF excimer laser for microphotolithography

    Kakuno, T. / Enami, T. / Kakizaki, K. | IEEE | 1995


    High-repetition-rate excimer laser for micromachining [4971-16]

    Herbst, L. / Klaft, I. / Wenzel, T. et al. | British Library Conference Proceedings | 2003


    High-repetition-rate ArF excimer laser for microlithography [4088-80]

    Wakabayashi, O. / Enami, T. / Ishii, K. et al. | British Library Conference Proceedings | 2000


    kHz repetition rate operation of excimer laser [2889-518]

    Park, H. / Lee, C. / SPIE | British Library Conference Proceedings | 1996