Halbleitersensoren erfordern fuer ihre Herstellung hohe Investitionen und werden erst bei grossen Stueckzahlen wirtschaftlich. Bei niedrigen Stueckzahlen sind unter Umstaenden andere Techniken interessanter, die bereits bei kleinen Stueckzahlen greifen und groessere Flexibilitaet aufweisen. Die Schichttechniken bieten fuer viele Messgroessen alternative Sensorkonzepte, deren Fertigung schon in Bereichen unter einer Million Stueck im Jahr kostenguenstig moeglich ist und eine hoehere Aenderungsflexibilitaet hat. Hinzu kommen die Vorteile des Laserabgleichs und des nahtlosen Anschlusses der unmittelbar zugeordneten Auswerteelektronik in Hybridtechnik. Dies wird an Beispielen von Sensoren zur Weg-, Druck-, Temperatur-, Drehzahl-, Beschleunigungs- und Durchflussmessung verdeutlicht. Die Schichttechnik stellt fuer den ueberwiegenden Teil des Sensorbedarfs im Auto attraktive Loesungen zur Verfuegung. Im Hinblick auf die Entwicklung von kuenftig vielfach schon intelligenten Sensoren ist die einfache Moeglichkeit der hybriden Integration von Sensor und Auswerteelektronik ein nennenswerter Vorteil. In Zukunft werden selbst komplexe Schaltkreise standardmaessig zur Verfuegung stehen, die fuer Umgebungstemperaturen von 120 bis 150 C geeignet sind; einfachere, in Bipolartechnik realisierbare Auswerteelektronik erscheint sogar bei 170 bis 200 C verwendbar.
Kraftfahrzeug-Sensoren in Schichttechnik. Eine interessante Alternative zu Halbleitersensoren
Automotive sensors in layer technology. An interesting alternative to semiconductor sensors
Bosch Tech. Ber. ; 8 , 5 ; 239-251
1987
13 Seiten, 23 Bilder, 5 Tabellen, 10 Quellen
Article (Journal)
German
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