Mikromechanische Sensoren haben in den vergangenen Jahren verstärkt Einzug ins Fahrzeug gehalten. Der Einsatzschwerpunkt liegt zunächst vor allem bei Sicherheitssystemen. Um die mikromechanischen Sensoren richtig auswählen und einsetzen zu können, ist die Kenntnis der Wirkprinzipien für den Entwicklungs- und Versuchsingenieur wichtig. Zu den mikromechanischen Sensoren zählen neben den klassischen mikromechanischen Sensoren auf Silicium-Basis inzwischen auch Sensorstrukturen auf Basis der LIGA-Technologie (LIGA: Lithographie, Galvanoformung, Abformung). Besondere Aufmerksamkeit speziell bei Fahrzeug-Anwendungen gilt dem Gehäuse: Die Anforderungen der Kfz-Hersteller an die Sensoren sind extrem und überschreiten häufig die einschlägigen MIL-Spezifikationen; andererseits handelt es sich beim Kfz-Sektor um einen Massenmarkt. Alle auf Verformung zurückzuführenden Meßgrößen (Beschleunigung, Vibration etc.) basieren auf einem von zwei Grundprinzipien, nämlich auf kapazitiver oder auf piezoresistiver Basis. Drehratensensoren beziehen sich heute allgemein auf die Messung der Coriolis-Kraft. Bei Drucksensoren gibt es im Fahrzeug neben mikromechanischen Ansätzen vor allem auch eine Vielzahl von Lösungen in Dickschicht- und Dünnschichttechnologie auf Stahl-, Keramik-, Glas- oder Kunststoffsubstrat.
Mikromechanische Sensoren in der Übersicht
Micromechanical sensors: An overview
1998
9 Seiten, 12 Bilder
Conference paper
German
Messen mechanischer Größen , Druckmessung , Beschleunigungsmessung , Winkelbeschleunigungsmessung , Drehzahlmessung , Mikromechanik , Sensor , Druckaufnehmer , seismischer Aufnehmer , kapazitiver Aufnehmer , Galvanisieren , Fahrzeugelektrik , Personenkraftwagen , piezoresistiver Aufnehmer , LIGA-Verfahren
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