Mikromechanische Sensoren sind zu einem unverzichtbaren Element der Automobilelektronik geworden. In diesem Beitrag der Robert Bosch GmbH werden Anwendungen für mikromechanische Sensoren im Automobil vorgestellt, und es wird einen Ausblick auf zukünftige Einsatzgebiete gegeben. Der Einsatz im Automobil stellt hohe Anforderungen an die Sensor-Komponenten. MEMS-Sensoren zeichnen sich durch hohe Zuverlässigkeit, geringe Herstellkosten, kleine Bauform und hohe Genauigkeit aus. Sie sind im Fahrzeug extremen Belastungen ausgesetzt und müssen harten mechanischen, klimatischen, chemischen und elektromagnetischen Beanspruchungen über die gesamte Fahrzeuglebensdauer standhalten. Die Eigenschaften mikromechanischer Sensoren in Bezug auf Größe und Gewicht, Kosten und Zuverlässigkeit sind aufgrund der zunehmenden Anzahl von Sensoren im Automobil zum entscheidenden Erfolgsfaktor geworden. Wichtigstes Herstellungsverfahren von MEMS-Sensoren ist die Siliziumtechnologie. Sie ermöglicht es, kleine Sensoren von wenigen Quadratmillimetern Größe mit hoher Zuverlässigkeit kostengünstig herzustellen. Die verschiedenen Strukturen, wie Federn, Balken, Gewichte und Membranen, haben Abmessungen in der Größenordnung von tausendstel Millimetern und messen mechanische Größen wie Druck, Beschleunigung oder Drehrate. Die erforderliche analoge oder digitale Auswerteschaltung zur Aufbereitung des gemessenen Signals kann entweder im MEMSChip integriert oder auf einem separaten Chip untergebracht werden. Die laufende Weiterentwicklung der verwendeten Technologien wird die weitere Digitalisierung, Integration und Miniaturisierung von MEMS-Sensoren und damit neue Anwendungen im Automobil, aber auch auf neuen Anwendungsfeldern ermöglichen.
Mikromechanische Sensoren für Automobilanwendungen
Micromechanical sensors for automotive applications
ATZ-Elektronik ; 4 ; 44-48
2006
5 Seiten, 6 Bilder, 5 Quellen
Article (Journal)
German
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