Vorgestellt wird der für die Automobilelektronik konzipierte Beschleunigungsaufnehmer MMDS40G. Er besteht aus einem im gemeinsamen Gehäuse integrierten kapazitiven Sensor und einem kundenspezifischen Schaltkreis zur Signalaufbereitung, beides in CMOS-Technologie. Die Beschleunigungsmessung erfolgt über die Auslenkung eines mikromechanisch hergestellten schwingenden Masseplättchens mit federnder Fadenaufhängung (Tether). Die Änderungen der elektrischen Kapazität zwischen dem bei Beschleunigung ausgelenkten Plättchen und den zwei Bezugselektroden ermöglichen Messungen im Bereich des etwa 25fachen der Erdbeschleunigung (250 m/s2). Die Meßanordnung beinhaltet auch eine Selbsttestschaltung zur Kalibrierung. Das System Masse, Federkonstante und Dämpfung ist überdämpft ausgelegt. Die Ausgangsspannung des Sensors ist ratiometrisch proportional zur Beschleunigung und zur Versorgungsspannung. Die Anwendung dieses Sensors als Auslöser der Zündpillen von Airbag-Systemen im Kraftfahrzeug ist dargestellt.


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    Title :

    Lebensretter aus Silizium. Mikromechanische Beschleunigungssensoren


    Additional title:

    Micromachined accelerometers


    Contributors:


    Publication date :

    1997


    Size :

    3 Seiten, 5 Bilder, 2 Quellen



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





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