Am Beispiel der Herstellung von Infrarot-Bandpaß- und Hochpaßfiltern für die Weltraumforschung werden verschiedene technologische Varianten der Röntgentiefenlithographie und Mikrogalvanoformung nach dem LIGA-Verfahren (Lithographie, Galvanoformung, Abformung) dargestellt. Dabei werden auf galvanischem Wege unter Verwendung eines Kupferfluoroborat-lektrolyten in Kupferfolien mit einer Dicke von 2 - 40 mikron feinste Aussparungen mit Kreis-, Kreuzschlitz- oder Sechseckquerschnitt (Schlüsselweite = 80 mikron) mit höchster Genauigkeit hergestellt. Bei extrem dünnen Folien (Dicke unter 5 mikron) werden die Kupferfolien durch einen Siliciumwafer ersetzt, auf den durch Kathodenzerstäubung eine Graphit- und eine Titanschicht aufgebracht werden. Die Filter erfüllten bezüglich ihrer optischen Eigenschaften und der Genauigkeit die hohen Qualitätsanforderungen für Erzeugnisse der Weltraumforschung. (Schwarzbach)


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    Title :

    Mikro-Galvanoformung für die Weltraumforschung. Herstellung von Infrarotfiltern


    Additional title:

    Micro-galvanoforming for space research - Production of infra-red filters


    Contributors:
    Ruprecht, R. (author) / Bacher, W. (author)

    Published in:

    Metalloberfläche ; 45 , 12 ; 531-534


    Publication date :

    1991


    Size :

    4 Seiten, 5 Bilder, 9 Quellen



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German




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