Vorgestellt werden MR-Drehzahlsensoren und Winkelsensoren. Sie beruhen auf dem Effekt, daß sich die elektrische Leitfähigkeit einer anisotropen ferromagnetischen Schicht unter dem Einfluß eines äußeren Magnetfeldes verändert. Für die Philips-MR-Sensoren wird eine Eisennickellegierung (Permalloy mit 80 % Eisen und 20 % Nickel) verwendet. Die magnetische Vorzugsrichtung wurde herstellungsbedingt in Richtung der X-Achse festgelegt. Die MR-Meßaufnehmer sind aus vier Permalloy-Dünnschicht-Sensoren auf einem Siliziumträgersubstrat konfiguriert und zu einer Brückenschaltung angeordnet. Zur Erzielung einer verbesserten Linearität und Temperaturunabhängigkeit wird der Betrieb mit einem externen magnetischen Stützfeld empfohlen. Der Aufbau eines aktiven Drehzahlsensors mit integrierter Signalaufbereitung (passive/aktive Targets) ist dargestellt. Meßbereichserweiterungen sind durch den Aufbau als Doppelsensor mit einem um 45 Winkelgrad versetzen zweiten Sensor möglich (Bauart KMZ 51). Der Aufbau des Drehzahlsensors KMI 15 ist dargestellt.
Magnetoresistive Sensoren - Moderne Fühler zur Außenwelt
Elektronik Industrie ; 30 , 5 ; 28-31
1999
3 Seiten, 5 Bilder
Article (Journal)
German
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