Ausgehend von Funktionsbetrachtungen zu resonanten Gyroskopen in mikrotechnischer Ausführung werden für eine FEM-Simulation die Funktionsgleichungen für einachsige und zweiachsige Resonanzanregungen abgeleitet und dargestellt. Weiter werden die Gleichungen für gekoppelte strukturelle elektrostatische Felder ermittelt, um daraus eine konstruktive doppelte H-Anordnung eines biegeschwingenden Resonators für ein elektrostatisch angeregten Sensors mit kapazitiver zu berechnen. Resonanzgyroskope messen die Winkelgeschwindigkeit, direkt oder indirekt, über die auf eine schwingende Masse im Referenzrahmen wirkende Corioliskraft und die durch die Meßgröße verursachte Änderung der Resonanzfrequenz im Bereich 8,8 MHz. Die Simulationsergebnisse und Konstruktionsdetails werden unter dem Gesichtspunkt iher technischen Umsetzbarkeit diskutiert.
Design and simulation of high aspect ratio motion sensors
Berechnung und Konstruktion eines Resonanz-Gyroskops in mikrosystemtechnischer Ausführung für elektrostatische Anregung und kapazitive Sensorik
Microsystem Technologies ; 2 , 4 ; 191-196
1996
6 Seiten, 8 Bilder, 1 Tabelle, 4 Quellen
Article (Journal)
English
Mikrosystemtechnik , Gyroskop , Kraftfahrzeugelektrik , Winkelgeschwindigkeitsmessung , Resonanzfrequenz , Messaufnehmer , Beschreibungsfunktion , Methode der finiten Elemente , Modellsimulation , Elektrostriktion , Empfindlichkeit , Feldverteilung , elektrisches Feld , Kapazität (Kondensator) , Biegeschwinger , MEMS (mikroelektromechanisches System) , LIGA-Verfahren
NTIS | 1988
|NTRS | 1988
|Analysis of rocket motion from magnetic aspect sensors
Engineering Index Backfile | 1963
|Investigating Aileron Design for Ultra-High Aspect Ratio Wings
TIBKAT | 2023
|