Ausgehend von Funktionsbetrachtungen zu resonanten Gyroskopen in mikrotechnischer Ausführung werden für eine FEM-Simulation die Funktionsgleichungen für einachsige und zweiachsige Resonanzanregungen abgeleitet und dargestellt. Weiter werden die Gleichungen für gekoppelte strukturelle elektrostatische Felder ermittelt, um daraus eine konstruktive doppelte H-Anordnung eines biegeschwingenden Resonators für ein elektrostatisch angeregten Sensors mit kapazitiver zu berechnen. Resonanzgyroskope messen die Winkelgeschwindigkeit, direkt oder indirekt, über die auf eine schwingende Masse im Referenzrahmen wirkende Corioliskraft und die durch die Meßgröße verursachte Änderung der Resonanzfrequenz im Bereich 8,8 MHz. Die Simulationsergebnisse und Konstruktionsdetails werden unter dem Gesichtspunkt iher technischen Umsetzbarkeit diskutiert.


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    Title :

    Design and simulation of high aspect ratio motion sensors


    Additional title:

    Berechnung und Konstruktion eines Resonanz-Gyroskops in mikrosystemtechnischer Ausführung für elektrostatische Anregung und kapazitive Sensorik


    Contributors:
    Yao, L. (author) / Chowanietz, E. (author) / McCormick, M. (author) / Lees, A. (author)

    Published in:

    Microsystem Technologies ; 2 , 4 ; 191-196


    Publication date :

    1996


    Size :

    6 Seiten, 8 Bilder, 1 Tabelle, 4 Quellen




    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    High-Aspect-Ratio Wings

    J. B. Peterson | NTIS | 1988


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    Peterson, John B., Jr. | NTRS | 1988


    Analysis of rocket motion from magnetic aspect sensors

    Cairns, F.V. / Ito, M. | Engineering Index Backfile | 1963


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