Gasversorgungsysteme in der Halbleiterproduktion unterscheiden nach Systemen für entflammbare/explosive, korrodierend/toxische und träge Gase. Zur Minimierung der Gefahren für Mitarbeiter, der 'mean-time-between-failures' am Gassystem und der Minderung des Produktionsausschusses ist ein gutes Systemdesign, eine gute Konstruktion und ein gutes Wartungskonzept unabdinglich. Die Auswahl der Materialien und die Oberflächenbehandlung bestimmen entscheidend ein hochqualitatives Design. Eine einfache, übersichtliche Konstruktion, in der alle Komponenten leicht erreichbar und servicefreundlich austauschbar sind, ergänzen das Gesamtkonzept. Ein elektronisches Diagnosesystem, welches die Anlage überwacht, aber auch alle Daten zu einem 'Anlagenlebenslauf' zusammenfaßt, rundet das Konzept ab. Mit den Daten aus dem Anlagenlebenslauf läßt sich eine preventive Wartung durchführen, d.h. Anlagenteile können dann, wenn es die Produktion erlaubt, ausgetauscht werden. Elektronische, aktive Gassystemkomponenten und 'intelligente' Wartungssysteme werden die Zukunft von Gasversorgungsanlagen in der Halbleiterproduktion bestimmen.
Maintaining ultraclean gas-system integrity for toxic and hazardous gases
Wartung von extrem reinen Gassystemen für toxische und explosive Gase
Solid State Technology ; 38 , 10 ; 109-116
1995
5 Seiten, 2 Bilder, 4 Tabellen
Article (Journal)
English
NTRS | 1989
|British Library Conference Proceedings | 1993
|Automotive engineering | 1991
|Ultraclean air with oil-less compressors
Automotive engineering | 1981
|Maintaining Aircraft Structural Integrity
British Library Conference Proceedings | 1997
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