Gasversorgungsysteme in der Halbleiterproduktion unterscheiden nach Systemen für entflammbare/explosive, korrodierend/toxische und träge Gase. Zur Minimierung der Gefahren für Mitarbeiter, der 'mean-time-between-failures' am Gassystem und der Minderung des Produktionsausschusses ist ein gutes Systemdesign, eine gute Konstruktion und ein gutes Wartungskonzept unabdinglich. Die Auswahl der Materialien und die Oberflächenbehandlung bestimmen entscheidend ein hochqualitatives Design. Eine einfache, übersichtliche Konstruktion, in der alle Komponenten leicht erreichbar und servicefreundlich austauschbar sind, ergänzen das Gesamtkonzept. Ein elektronisches Diagnosesystem, welches die Anlage überwacht, aber auch alle Daten zu einem 'Anlagenlebenslauf' zusammenfaßt, rundet das Konzept ab. Mit den Daten aus dem Anlagenlebenslauf läßt sich eine preventive Wartung durchführen, d.h. Anlagenteile können dann, wenn es die Produktion erlaubt, ausgetauscht werden. Elektronische, aktive Gassystemkomponenten und 'intelligente' Wartungssysteme werden die Zukunft von Gasversorgungsanlagen in der Halbleiterproduktion bestimmen.


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    Title :

    Maintaining ultraclean gas-system integrity for toxic and hazardous gases


    Additional title:

    Wartung von extrem reinen Gassystemen für toxische und explosive Gase


    Contributors:
    Cestari, J. (author) / Yelverton, M. (author)

    Published in:

    Solid State Technology ; 38 , 10 ; 109-116


    Publication date :

    1995


    Size :

    5 Seiten, 2 Bilder, 4 Tabellen



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




    Ultraclean Radiant Furnace

    Blair, David W. | NTRS | 1989


    Maintaining Integrity

    Elliott, R. A. W. / Engineering Integrity Society | British Library Conference Proceedings | 1993


    Maintaining data integrity

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    Ultraclean air with oil-less compressors

    Meece,W. / ITT Pneumotive,Monroe,US | Automotive engineering | 1981


    Maintaining Aircraft Structural Integrity

    O'Grady, M. A. / Royal Aeronautical Society | British Library Conference Proceedings | 1997