Dieser Beitrag befaßt sich mit intelligenten Beschleunigungsaufnehmern für Kraftfahrzeuganwendungen. Sie müssen deshalb in einer extrem ausfallsicheren Technologie gefertigt sein, die speziell den Beanspruchungen im Auto auf Dauer standhält. Außerdem werden Sensoren benötigt, die sich in Massenproduktion billig herstellen lassen und keinen aufwendigen Abgleich erfordern. Diese Anforderungen erfüllt die neue Technik der Mikromechanik, mit der mechanisch bewegliche Sensorteile und die zugehörige Auswertelektronik auf einem Chip integriert werden kann. Vorgestellt wird hier der Beschleunigungssensor ADXL50 von Analog Devices, der ein kapazitives Meßverfahren verwendet, damit Temperatureinflüsse von vornherein so gering wie möglich bleiben.
Intelligenter Beschleunigungsaufnehmer in Mikromechanik. Selbsttest-Funktion mit auf dem Chip
Elektronik, München ; 40 , 23 ; 46-50
1991
4 Seiten, 5 Bilder
Article (Journal)
German
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