Lecks in den Gasleitungen, Verwendung von Reinigungsgasen, die noch kleinste Spuren von Luft und Feuchtigkeit enthalten, und Kontaminierung der Gasleitungen beim Wechsel der Gasflaschen sind die Hauptquellen von Verunreinigungen in der Halbleiterfertigung. Permanente RGA-Tests (Reaktiv-Gas-Quellenanalyse) und Partikel-Monitoring geben dem Halbleiterhersteller Auskunft über den Zustand seiner Produktions-Systeme. Die dazu notwendigen Komponenten werden beschrieben.


    Access

    Access via TIB

    Check availability in my library


    Export, share and cite



    Title :

    Verunreinigungen auf der Spur. Ultra-Clean-Gas-Supply-Technik in der Halbleiterherstellung


    Contributors:
    Byrne, G.J. (author) / Stein, E.F. (author)

    Published in:

    Publication date :

    1990


    Size :

    2 Seiten


    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





    Vorrichtung zum Abscheiden von Verunreinigungen

    TIPPING LOUISE / FORTY ROGER / SASNUR MANJUNATH | European Patent Office | 2018

    Free access


    Verunreinigungen der Fahrzeuginnenraumluft - Quellen und Gegenmaßnahmen

    Schmidt, H.J. / Lüßmann-Geiger, H. | Tema Archive | 1996


    Verunreinigungen der Fahrzeuginnenraumluft - Quellen und Gegenmaßnahmen

    Schmidt, H. J. / Lüßmann-Geiger, H. | IuD Bahn | 1996