Lecks in den Gasleitungen, Verwendung von Reinigungsgasen, die noch kleinste Spuren von Luft und Feuchtigkeit enthalten, und Kontaminierung der Gasleitungen beim Wechsel der Gasflaschen sind die Hauptquellen von Verunreinigungen in der Halbleiterfertigung. Permanente RGA-Tests (Reaktiv-Gas-Quellenanalyse) und Partikel-Monitoring geben dem Halbleiterhersteller Auskunft über den Zustand seiner Produktions-Systeme. Die dazu notwendigen Komponenten werden beschrieben.
Verunreinigungen auf der Spur. Ultra-Clean-Gas-Supply-Technik in der Halbleiterherstellung
Productronic, Heidelberg ; 10 , 6 ; 76-78
1990
2 Seiten
Article (Journal)
German
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