Bei der Reinstgasversorgung sollte immer die technisch sichere Ausführung als Maßstab für alle Gasversorgungssysteme dienen. Die Grundsatzfragen müssen schon bei der Planungsstufe sehr sorgfältig mit allen Beteiligten und Betreibern Punkt für Punkt durchgesprochen werden. Da die kritischsten Anwendungen als Maßstab für alle - auch einfacheren - Gasführungen dienen sollten, wird in diesem Bericht der Aufbau einer zentral gesteuerten Reinst- und Dotiergasversorgung, wie sie zum Beispiel in der Halbleitertechnologie verwendet wird, im Detail etwas genauer erläutert. Gasversorgungen in anderen Anwendungsgebieten werden gleichfalls mit angesprochen.
Prozeß- und Reinstgasversorgung in der Halbleitertechnik (in Reinraumtechnik)
Process gas and high clean gas supply in the semiconductor technology
Fortschrittberichte VDI ; Reihe 19 , 38 ; 104-115
1990
12 Seiten, 2 Tabellen
Report
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