Verunreinigungen hochreiner Gase, wie sie für die Herstellung von Halbleiterbauelementen Verwendung finden, beeinflussen Ausbeute und Zuverlässigkeit dieser Bauelemente in hohem Maße, da diese Gase entweder zum Schutz oder zur Veränderung der Halbleiteroberflächen während des Herstellungsprozesses verwendet werden. Um diese Gase in hochreinem Zustand zu halten, dürfen während des Gastransports durch das Rohrleitungssystem keine Verunreinigungen auftreten. Die Schweißverbindungen des Rohrleitungssystems müssen daher frei von Partikeln, von Lecks und von Totzonen sein und dürfen nicht ausgasen. Die Autoren unteteilen den Schweißprozeß in drei Schritte: Zunächst muß eine präzise Entwicklung des Schweißverfahrens erfolgen, wobei vor allen Dingen die verwendeten Werkstoffe zu beachten sind. Der zweite Schritt besteht in der präzisen Steuerung der Schweißparameter. Im dritten Schritt ist eine Qualitätsüberprüfung erforderlich, die aus der visuellen Inspektion der Schweißnaht, einer rasterelektronenmikroskopischen Analyse der Schweißraupenoberfläche, einer Leckprüfung und einer Partikelprüfung besteht.


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    Title :

    Welding technologies: Key to high-purity gas applications


    Additional title:

    Schweißtechnologien: Der Schlüssel zur Anwendung hochreiner Gase


    Contributors:

    Published in:

    Publication date :

    1989


    Size :

    2 Seiten, 6 Bilder, 1 Tabelle


    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    English




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