Zur Messung des Saugrohrdruckes in Kfz wurde eine neue Familie hybrider Sensoren mit verbesserter Messgenauigkeit entwickelt. Sie zeichnen sich dadurch aus, dass sich die piezoresistive Dickschichtanordnung auf einer Membran befindet, die aus einer freitragenden dielektrischen Struktur besteht. Die Signalauswertung ist integriert und beinhaltet eine Temperaturkompensation. Umfassende Lebensdauerpruefungen zeigen hohe Zuverlaessigkeit und Bestaendigkeit gegen Kraftstoff, Oeldaempfe und Gase im Saugrohr.


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    Title :

    Dickschicht-Drucksensoren mit freitragenden Strukturen


    Contributors:
    Bergfried, D. (author) / Kuhnt, W. (author)

    Published in:

    Technisches Messen ; 56 , 6 ; 250-254


    Publication date :

    1989


    Size :

    5 Seiten, 9 Bilder, 2 Quellen



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





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