Zur Messung des Saugrohrdruckes in Kfz wurde eine neue Familie hybrider Sensoren mit verbesserter Messgenauigkeit entwickelt. Sie zeichnen sich dadurch aus, dass sich die piezoresistive Dickschichtanordnung auf einer Membran befindet, die aus einer freitragenden dielektrischen Struktur besteht. Die Signalauswertung ist integriert und beinhaltet eine Temperaturkompensation. Umfassende Lebensdauerpruefungen zeigen hohe Zuverlaessigkeit und Bestaendigkeit gegen Kraftstoff, Oeldaempfe und Gase im Saugrohr.
Dickschicht-Drucksensoren mit freitragenden Strukturen
Technisches Messen ; 56 , 6 ; 250-254
1989
5 Seiten, 9 Bilder, 2 Quellen
Article (Journal)
German
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