Die Mikromechanik macht sich die Herstellungstechnik der Mikroelektronik zunutze. Mit Hilfe von Photolithographie, Aetztechnik oder Dotierungstechnik werden aus Silicium-Wafern feinste mechanische Elemente gefertigt. Am verbreitetsten sind heute Druck- und Beschleunigungssensoren aber auch Duesen, Siebe, Steckverbindungen, Elektronenstrahlmasken, Gasdurchflusssensoren etc. werden schon hergestellt. Potentielle Anwendungsgebiete sind auch Medizin, Optik, Optoelektronik, Luft- und Raumfahrt, Konsumgueterindustrie sowie Datenverarbeitung und Nachrichtentechnik. Bis fuer diese Bereiche anwendungsreife Bauteile vorliegen, werden jedoch noch 8 bis 10 Jahre vergehen, zum einen bedingt durch die noetigen Entwicklungs- und Erprobungszeiten zum anderen durch die noch fehlenden Experten der Mikromechanik.


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    Title :

    Mikromechanik. Eine neue Technik kuendigt sich an


    Additional title:

    Micromechanics. A new technique appears


    Published in:

    VDI-Nachrichten ; 43 , 10 ; 27


    Publication date :

    1989


    Size :

    1 Seite, 1 Bild, 1 Tabelle



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German




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