Zurzeit gibt es einen dramatischen Anstieg in der Anzahl Anwendungen für magnetischen Sensoren. Dieser Trend wird ermöglicht durch eine stetige Verbesserung des Preis-Leistungs-Verhältnisses für diese Sensoren. Dies liegt teilweise an verbesserten Leistungseigenschaften, aber auch an der Integration von zusätzlichen Funktionen. In diesem Beitrag werden zwei aktuelle Beispiele für magnetoresistive Sensoren beschrieben. Der Integration einer hartmagnetischen Schicht im Sensorchip selbst ersetzt einen externen Magneten, entweder als Stabilisierungsmagnet oder auch zur Arbeitspunkteinstellung. In einem weiteren Beispiel wird die Auslegung und Herstellung von integrierten flussführenden weichmagnetischen Strukturen beschrieben. Anhand dieser Strukturen können drei magnetische Feldkomponenten von einem einzigen Sensorchip statt von drei separaten Chips erfasst werden. Beide Beispiele von Mikro-Nano-Integration reduzieren die Anzahl benötigter Komponenten in einer Sensoranordnung, was zu reduziertem Bauvolumen und geringeren Kosten beim Anwender führt.

    Recent years have seen a dramatic increase in the number of applications for magnetic sensors. This trend is supported by a steady improvement in the price-performance relationship for this type of sensor. This is, in turn, partly due to improved performance characteristics, but also due to the integration of additional functions. In this paper two current examples for functional integration for magnetoresistive sensors will be presented. The integration of a hard magnetic layer in a sensor chip removes the need for a separate magnet, which is used either to stabilise the sensor or to set the operating point. In a further example the design and manufacture of integrated flux guidance structures is described. These structures allow three magnetic field components to be measured with a single chip rather than necessitating three separate sensor chips, as was previously the case. Both examples of micro-nano-integration reduce the number of components required for a measurement task, leading to a smaller envelope and reduced costs for the user.


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    Title :

    Funktionale Integration bei Magnetoresistiven Sensoren


    Additional title:

    Functional Integration for Magnetoresistive Sensors


    Contributors:


    Publication date :

    2014


    Size :

    6 Seiten, 12 Bilder, 12 Quellen




    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    German