Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den herausragenden optischen Messverfahren für die Erfassung von 3D-Topografien mit Tiefenauflösungen im unteren Nanometerbereich. Aufgrund der parallelen Erfassung und -Verarbeitung von ca. einer Million Messpunkten können großflächig Höheninformationen innerhalb kürzester Zeit gewonnen werden. Der Beitrag zeigt die Grundlagen dieser Messtechnik und stellt innovative Produktlösungen der Gesellschaft für Bild- und Signalverarbeitung mbH (Ressort: Nanomesstechnik) zur 3D-Oberflächenmessung vor. Die Produktfamilie 'smartWLI' wird detailliert dargestellt. Dabei handelt es sich um die Aufrüstung konventioneller Lichtmikroskope zum 3D-Oberflächenmessgerät (smartWLI-microscope), ein portables Messgerät (smartWLI-portable) bis hin zu kundenspezifischen Lösungen (smartWLI-oem). Typische Einsatzfelder in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheit (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen.
'smartWLI' - eine modulare Systemlösung zur 3D-Oberflächenmessung mittels Weißlichtinterferometrie
2010
10 Seiten, 13 Bilder, 2 Tabellen, 7 Quellen
Conference paper
German
Prazise Rissdetektion und -bewertung an Flugzeugturbinenlinern mittels Weisslichtinterferometrie
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