Die Weißlichtinterferometrie gehört zu den herausragenden optischen Messverfahren für die Erfassung von 3D-Topografien mit Tiefenauflösungen im unteren Nanometerbereich. Aufgrund der parallelen Erfassung und -Verarbeitung von ca. einer Million Messpunkten können großflächig Höheninformationen innerhalb kürzester Zeit gewonnen werden. Der Beitrag zeigt die Grundlagen dieser Messtechnik und stellt innovative Produktlösungen der Gesellschaft für Bild- und Signalverarbeitung mbH (Ressort: Nanomesstechnik) zur 3D-Oberflächenmessung vor. Die Produktfamilie 'smartWLI' wird detailliert dargestellt. Dabei handelt es sich um die Aufrüstung konventioneller Lichtmikroskope zum 3D-Oberflächenmessgerät (smartWLI-microscope), ein portables Messgerät (smartWLI-portable) bis hin zu kundenspezifischen Lösungen (smartWLI-oem). Typische Einsatzfelder in der Qualitätssicherung und in der Forschung sind die Charakterisierung von Oberflächen verschiedener Rauheit (Waferstrukturen, Spiegel, Glas, Metalle), die Bestimmung von Stufenhöhen und die präzise Messung von gekrümmten Oberflächen, wie z.B. Mikrolinsen.


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    Title :

    'smartWLI' - eine modulare Systemlösung zur 3D-Oberflächenmessung mittels Weißlichtinterferometrie


    Contributors:


    Publication date :

    2010


    Size :

    10 Seiten, 13 Bilder, 2 Tabellen, 7 Quellen



    Type of media :

    Conference paper


    Type of material :

    Print


    Language :

    German





    Prazise Rissdetektion und -bewertung an Flugzeugturbinenlinern mittels Weisslichtinterferometrie

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    Domaschke, Tomas / Technische Universität Hamburg-Harburg / Technische Universität Hamburg, Institut für Flugzeug-Produktionstechnik et al. | TIBKAT | 2017

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