Thermoelektrisch über Titan-Heizelemente analog ansteuerbare robuste Mikrospiegel wurden mit Hilfe elektrochemischen Ätzens von (100)-Siliziumscheiben aus Siliziummembranen hergestellt. Bei ca. 10 mym Membrandicke und der gleichen Siliziumdicke für die Befestigungsarme der Spiegelflächen wurden Auslenkungen der Spiegelfläche von 0,5-1 Grad in zwei Raumrichtungen erreicht. Die heute bereits in Projektoren genutzten digital steuerbaren Spiegelarrays sind nur in einer Richtung kippbar, vibrationsempfindlich und reduzieren die Lichtintensität. Das analoge Mikrospiegelarray vereint in sich elektrische, mechanische, thermische und optische Prinzipien und besitzt keine der genannten Nachteile. Es gibt keine empfindlichen Bauteile, so daß das Verkippen der Spiegel auch unter rauhen Umgebungsbedingungen abnutzungsfrei ausgeführt werden kann. Dadurch sind die analog ansteuerbaren Mikrospiegel mechanisch sehr robust und relativ unempfindlichgegenüber Vibrationen.
Herstellung eines analog ansteuerbaren Mikrospiegelarrays
2007
10 Seiten, 10 Bilder, 8 Quellen
Conference paper
German
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