Gegenstand des Teilprojektes ist die Entwicklung von integrierten analogen Drehraten- und Beschleunigungssensoren in additiver Mikrogalvanik-Technik für Anwendungen im Automobilbereich. Die Projektbeschreibung im ersten Kapitel beinhaltet die Ziele des Projektes, die Voraussetzungen und den Stand der Technik zu Beginn des Vorhabens. Im zweiten Kapitel werden die Ergebnisse des Projektes ausführlich dargestellt. Im ersten Abschnitt wird auf die zu erreichenden Spezifikationen sowie das Konzept für die Demonstratoren eingegangen. Die Technologieentwicklung bildet den Schwerpunkt des Projektes mit den folgenden Arbeiten: Planarisierungs- und Opferschicht zur Einebnung des ICs und Freilegung des Sensors, anisotrope Polymerstrukturierung zur Herstellung der Negativform für die Abscheidung des Sensormaterials und galvanische Abscheidung des Sensormaterials auf einer Galvanikstartschicht. Der Gesamtprozess ist unschädlich für den IC und ermöglicht die Herstellung von Inertialsensoren. Im Anschluss an die Darstellung der additiven Integrationstechnologie werden auf diese abgestimmte Designentwürfe von Beschleunigungssensoren vorgestellt. Die Sensoren sind als Feder-Masse-System mit kapazitivem Wandlerprinzip konzipiert. Durch geeignete Auslegung der Federn, Aufhängungen und Verankerungspunkte ist eine Temperatur- und Spannungskompensation erreicht worden. Des Weiteren wird eine Aufbau- und Verbindungstechnik vorgestellt, die die Verpackung der Sensoren auf Wafer-Ebene erlaubt. Die Charakterisierung der hergestellten Sensor-Funktionsmuster erfolgt im letzten Abschnitt der Ergebnisdarstellung. Die Funktionsmuster erfüllen die KFZ-Spezifikationen. Abschließend wird auf den Nutzen und die Verwertbarkeit der Ergebnisse und die Ergebnisse Dritter während der Projektlaufzeit eingegangen.


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    Title :

    Integrierte Sensoren mittels additiver Mikro-Galvanik-Verfahren - ISAMIG für Anwendungen im Automobil, Abschlußbericht


    Contributors:
    Elsner, B. (author)


    Publication date :

    2000


    Size :

    83 Seiten, 27 Bilder, 19 Tabellen, 49 Quellen


    Type of media :

    Report


    Type of material :

    Print


    Language :

    German