Eine neue Generation von Drucksensoren besteht aus einer Siliziumscheibe mit Piezowiderständen und Folgeverstärkerschaltung. Die Komponenten enthalten zusätzlich ein EPROM mit Schieberegister und D/A-Wandler zum Offset-/Temperaturvergleich sowie der Empfindlichkeitsanpassung Druck/Spannung. Durch den EPROM ist das bisher notwendige und relativ aufwendige Trimmen mittels eines Laser-Chip-Trimmers zur Anpassung an die geforderte Ausgangscharakteristik nicht mehr erforderlich. Die gewünschte Ausgangsspannung wird über die Programmierung des EPROMs eingestellt. Gegenüber herkömmlicher Drucksensoren läßt sich eine höhere Genauigkeit beim Abgleich erreichen.
Universalgenie. EEPROM verbessert Genauigkeit der Ausgangskennlinie von flexiblen, piezoresistiven Drucksensoren
Elektronikpraxis ; 35 , 20 ; 62-64
2000
3 Seiten, 3 Bilder
Article (Journal)
German
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