Für die Qualitätssicherung der Produktion und richtige Steuerungsentscheidungen in Fertigungsprozessen ist die Qualität von Messergebnissen von entscheidender Bedeutung. Neben der Messgenauigkeit spielt auch die richtige Ermittlung des Messunsicherheitsbereiches eine wichtige Rolle, um die Genauigkeit der Messungen im Kontext des Messverfahrens und der funktionalen Eigenschaften des Messobjekts richtig bewerten zu können. Für die Ermittlung der Messunsicherheit existiert zwar ein ISO-Standard (GUM), allerdings enthält er für Messungen im Mikro- und Nanobereich kaum praktisch anwendbare Handlungsanweisungen. Für den Bereich der Oberflächenvermessung mittels Weißlichtinterferometrie wird eine Methode zur Messunsicherheitsanalyse auf Grundlage einer modellbasierten Fähigkeitsanalyse des Messaufbaus beschrieben und damit demonstriert, wie für konkrete Messstrategien mit verringertem Aufwand die Messunsicherheitsanalyse nach GUM praxisnah modifiziert werden kann.
Praxisgerechte Messunsicherheitsermittlung bei Messungen mit dem Weißlichtinterferometer
Practice-oriented evaluation of the uncertainty of measurements with white-light interferometer
tm - Technisches Messen ; 75 , 5 ; 360-367
2008-01-01
8 pages
Article (Journal)
German
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