In Nanomess- und Nanopositioniersystemen spielen Reibung, Oberflächenbeschaffenheit und Tribologie eine bedeutendere Rolle als in Makrosystemen. Die Reibungsmodelle zur Konzeption der Stelleinrichtungen solcher Geräte müssen die Reibungs- und Adhäsionseigenschaften der beteiligten Bauelemente als signifikanten Störeinfluss berücksichtigen. Deshalb wurde das Reibungsverhalten einer Reihe von für Führungselemente, Gleit- und Rolllager verwendeten Werkstoffe sowie Gleit- und Schmiermittel unter Umgebungs- und Einsatzbedingungen von Nanopositioniersystemen untersucht. Die Versuchsaufbauten und Messergebnisse sind erläutert. So konnte bestätigt werden, dass Schmiermittel neben der reibungsmindernden Wirkung auch eine für die Messgenauigkeit schädliche, variable Eigenreibung besitzen. Als Schlussfolgerung daraus ist die Entwicklung tribologischer Feststofflager und -gleitflächen voranzutreiben - insbesondere für den Einsatz unter Vakuumbedingungen und zur definierten Bewegungskontrolle der beweglichen Teile von Nanopositioniersystemen.


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    Title :

    Materials, Bearings and Lubricants for Nanopositioning


    Additional title:

    Materialien, Lager und Schmiermittel für Nanopositionierung



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 73 , 9 ; 500-510


    Publication date :

    2006-01-01


    Size :

    11 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German




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