Für den Einsatz in der Fertigungstechnik, Medizin und Forschung werden universelle Messprinzipien und Geräte für dimensionelle Mess- und Positionieraufgaben benötigt - z. B. komplexe Oberflächen- und Rauheitsmessungen, Rundheitsbestimmungen, Vermessung von Mikrozahnrädern und Gitterstrukturen, Härtebestimmung etc. im Mikro- und Nanometerbereich. Unter Einsatz von zusammengesetzten Cantilever-Tastspitzen (ACP) wurde erfolgreich eine Nanomessmaschine aus der Entwicklung der TU Ilmenau mit Piezostelltischen und verschiedenen Detektionssystemen kombiniert und bei der Erfüllung von Mess- und Positionieraufgaben getestet. Die Versuchsaufbauten sowie die erzielten Messergebnisse sind erläutert. Der modulare Aufbau des Gerätes ermöglicht seine Anbindung an Mess- und Sensorsysteme zur Erfüllung praktischer Mess- und Kalibrieraufgaben in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.
Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine
Linking up various detection systems for dimensional measurements in the micro- and nanorange with the nanomeasuring machine
tm - Technisches Messen ; 73 , 9 ; 472-484
2006-01-01
13 pages
Article (Journal)
German
© Metadata Copyright Deutsche Bahn AG. All rights reserved.
Elektronische Detektionssysteme zur Freigeländeüberwachung
IuD Bahn | 2002
|PRODUKTE + MÄRKTE - Betriebsausrüstung - Elektronische Detektionssysteme
Online Contents | 2002
Detektionssysteme und -verfahren unter Verwendung eines Ultrakurzstreckenradars
European Patent Office | 2019
|