Für den Einsatz in der Fertigungstechnik, Medizin und Forschung werden universelle Messprinzipien und Geräte für dimensionelle Mess- und Positionieraufgaben benötigt - z. B. komplexe Oberflächen- und Rauheitsmessungen, Rundheitsbestimmungen, Vermessung von Mikrozahnrädern und Gitterstrukturen, Härtebestimmung etc. im Mikro- und Nanometerbereich. Unter Einsatz von zusammengesetzten Cantilever-Tastspitzen (ACP) wurde erfolgreich eine Nanomessmaschine aus der Entwicklung der TU Ilmenau mit Piezostelltischen und verschiedenen Detektionssystemen kombiniert und bei der Erfüllung von Mess- und Positionieraufgaben getestet. Die Versuchsaufbauten sowie die erzielten Messergebnisse sind erläutert. Der modulare Aufbau des Gerätes ermöglicht seine Anbindung an Mess- und Sensorsysteme zur Erfüllung praktischer Mess- und Kalibrieraufgaben in der Halbleiter- und Mikrosystemtechnik.


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    Title :

    Die Ankopplung verschiedenartiger Detektionssysteme für dimensionelle Messungen im Mikro- und Nanometerbereich an die Nanomessmaschine


    Additional title:

    Linking up various detection systems for dimensional measurements in the micro- and nanorange with the nanomeasuring machine



    Published in:

    tm - Technisches Messen ; 73 , 9 ; 472-484


    Publication date :

    2006-01-01


    Size :

    13 pages



    Type of media :

    Article (Journal)


    Type of material :

    Print


    Language :

    German




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