Viele wichtige Steuerungsaufgaben in Maschinen und Anlagen werden mittels mikromechanischer Sensoren und Schalter realisiert, zu deren Entwurf, Herstellung und Qualitätssicherung die genaue Kenntnis der Materialparameter erforderlich ist. Die lokalen Materialeigenschaften von Bauteilen der Größe weniger Mikrometer können mit optischen Messverfahren erfasst werden. Diese bieten hohe Auflösung sowie berührungslose und zerstörungsfreie Messmethoden. Insbesondere für mikromechanische Druck- und Drehratensensoren sowie HF-MEMS-Schalter wurden verschiedene Messmethoden unter Einsatz digitaler Holografie, Gitterinterferometrie sowie Vibratometrie und Resonanzmessung auf messtechnologische Einsatzfähigkeit und ihren jeweils optimalen Anwendungsbereich zu bearbeitender Bauelemente und Werkstoffe untersucht und bewertet. Gleichzeitig konnten die Messreihen zur Verbesserung des Designs von HF-MEMS-Schaltern herangezogen werden.
Evaluierung optischer Messmethoden am Beispiel mikromechanischer Bauelemente
Evaluation of optical measurement techniques for the characterization of micromechanical device
tm - Technisches Messen ; 73 , 5 ; 281-292
2006-01-01
12 pages
Article (Journal)
German
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