Seit der erstmaligen Veröffentlichung über den piezoresistiven Effekt in den Halbleitern Germanium und Silizium im Jahre 1954 bis zur heutigen Präzision und industriellen Fertigung sowie Anwendung haben die piezoresistiven Wandler und Sensoren eine wissenschaftlich-praktische sehr interessante Entwicklung genommen. Mit der Entstehung der Mikrosystemtechnik ist aus der seinerzeit erstmaligen Verwendung piezoresistiver Wandler als Silizium-Dehnmessstreifen über die Integration in drucksensitive Halbleiterverformungskörper bis heute eine ganze Sensorklasse entstanden, die als Beschleunigungs-, Feuchte- oder chemische Sensoren, zur Messung mikromechanischer Belastungen oder in Rastermikroskopen Einsatz finden. Viele internationale Firmen und Forschungseinrichtungen haben an der Vervollkommnung der piezoresistiven Sensortechnik und ihrem industriellen Einsatz teilgenommen.
50 Jahre Entdeckung des piezoresistiven Effekts - Geschichte und Entwicklung piezoresistiver Sensoren
tm - Technisches Messen ; 72 , 2 ; 53-76
2005-01-01
24 pages
Article (Journal)
German
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