Zum Ermöglichen der Wiederverwertung von Substraten wird ein reflektives optisches Element (52) für den extrem-ultravioletten Wellenlängenbereich vorgeschlagen, aufweisend ein Substrat (59) und eine reflektierende Beschichtung (54), bei dem zwischen dem Substrat und der reflektierenden Beschichtung eine reaktive Ablöseschicht (62) angeordnet ist. Zu dessen Reparatur und/oder Aufbereitung wird vorgeschlagen, folgende Schritte auszuführen: - Bereitstellen eines reflektiven optischen Elements für den extrem-ultravioletten Wellenlängenbereich, aufweisend ein Substrat und eine reflektierende Beschichtung, bei dem zwischen dem Substrat und der reflektierenden Beschichtung eine reaktive Ablöseschicht angeordnet ist; - Einbringen eines Energieimpulses in die reaktive Ablöseschicht, um eine Reaktion in der reaktiven Ablöseschicht in Gang zu setzten, so dass sich in der reaktiven Ablöseschicht eine Volumenänderung ergibt; - Ablösen der reflektierenden Beschichtung und der reaktiven Ablöseschicht.

    In order to enable substrates to be recycled, a reflective optical element (52) for the extreme ultraviolet wavelength range is proposed, comprising a substrate (59) and a reflective coating (54), a reactive release layer (62) being arranged between the substrate and the reflective coating. For repairing and/or conditioning this reflective optical element, it is proposed to carry out the following steps: – providing a reflective optical element for the extreme ultraviolet wavelength range, comprising a substrate and a reflective coating, a reactive release layer being arranged between the substrate and the reflective coating; – introducing an energy pulse into the reactive release layer in order to initiate a reaction in the reactive release layer, thus resulting in a change in volume in the reactive release layer; – releasing the reflective coating and the reactive release layer.

    Le but de l'invention est de permettre le recyclage de substrats. À cet effet, l'invention concerne un élément optique réflectif (52) pour la gamme de longueurs d'onde extrême ultraviolet, qui présente un substrat (59) et un revêtement réfléchissant (54). Selon l'invention, une couche décollable réactive (62) est placée entre le substrat et le revêtement réfléchissant. Pour la réparation et/ou le traitement dudit élément, il est proposé d'exécuter les étapes suivantes qui consistent à : - fournir un élément optique réflectif pour la gamme de longueurs d'onde extrême ultraviolet présentant un substrat et un revêtement réfléchissant, une couche décollable réactive étant disposée entre le substrat et le revêtement réfléchissant ; - introduire une impulsion d'énergie dans la couche décollable réactive afin de mettre en oeuvre une réaction dans la couche décollable réactive, de façon à obtenir une variation de volume dans la couche décollable réactive ; - décoller le revêtement réfléchissant et la couche décollable réactive.


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    Title :

    REFLEKTIVES OPTISCHES ELEMENT UND VERFAHREN ZUR REPARATUR UND/ODER AUFBEREITUNG EINES REFLEKTIVEN OPTISCHEN ELEMENTS


    Additional title:

    REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT AND METHOD FOR REPAIRING AND/OR CONDITIONING A REFLECTIVE OPTICAL ELEMENT
    ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLECTIF ET PROCÉDÉ DE RÉPARATION ET/OU DE TRAITEMENT D'UN ÉLÉMENT OPTIQUE RÉFLECTIF


    Contributors:

    Publication date :

    2022-08-04


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German


    Classification :

    IPC:    G02B Optische Elemente, Systeme oder Geräte , OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS, OR APPARATUS / B60R Fahrzeuge, Fahrzeugausstattung oder Fahrzeugteile, soweit nicht anderweitig vorgesehen , VEHICLES, VEHICLE FITTINGS, OR VEHICLE PARTS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen , PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES