Offenbart ist eine Beförderungsvorrichtung, die zum gleichzeitigen Befördern mehrerer Nutzlasten, insbesondere Wafer, ausgelegt ist, wobei jeder Nutzlast ein Transportkörper (Mover) zugeordnet ist, der schwebend über einer Oberfläche eines Stators bewegbar und positionierbar ist. Vorzugsweise erfolgt das Bewegen und das Positionieren bezüglich aller sechs Freiheitsgrade. Dabei sind die Transportkörper und die zugeordneten Nutzlasten in einem gedichteten Transportraum aufgenommen. Der Stator ist unterhalb dem gedichteten Transportraum angeordnet. Ein Boden des Transportraums ist parallel zur Oberfläche des Stators über dieser angeordnet. Jeweilige Gehäuse der Transportkörper sind vorzugsweise ebenfalls gedichtet.
The invention relates to a conveyor device which is designed to simultaneously convey multiple payloads, in particular wafers. Each payload is paired with a transport body (mover) which can be moved and positioned in a floating manner over a surface of a stator, and the transport body is moved and positioned preferably with respect to all six degrees of freedom. The transport body and the paired payloads are received in a sealed transport chamber, the stator is arranged below the sealed transport chamber, the floor of the transport chamber is arranged above the surface of the stator and parallel thereto, and the housing of each transport body is likewise preferably sealed.
L'invention concerne un dispositif de transport conçu pour transporter simultanément plusieurs charges utiles, en particulier des tranches. Chaque charge utile est associée à un corps de transport (dispositif de déplacement) qui peut être déplacé et positionné de manière flottante sur une surface d'un stator, et le corps de transport est déplacé et positionné de préférence par rapport aux six degrés de liberté. Le corps de transport et les charges utiles appariées sont reçus dans une chambre de transport étanche, le stator est disposé en dessous de la chambre de transport étanche, le fond de la chambre de transport est disposé au-dessus de la surface du stator et parallèlement à ce dernier, et le boîtier de chaque corps de transport est de préférence également étanche.
BERÜHRUNGSLOSE BEFÖRDERUNGSVORRICHTUNG
CONTACTLESS CONVEYOR DEVICE
DISPOSITIF DE TRANSPORT SANS CONTACT
2022-04-07
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / H02K Dynamoelektrische Maschinen , DYNAMO-ELECTRIC MACHINES |
Transportkörper mit Chassis für eine berührungslose Beförderungsvorrichtung
European Patent Office | 2024
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