Described herein is a magnetically levitated linear transportation stage which utilizes a permanent magnet bias flux to generate a passive magnetic/suspension force/torque in a first set of directions orthogonal to a direction of transportation stage travel, a motor flux which forms a traveling wave along a direction of transportation stage travel and a suspension control force orthogonal to the direction of transportation stage travel. Such a magnetically levitated linear transportation stage is suitable for use in in-vacuum transportation tasks such as in conjunction with photo lithography systems (e.g. extreme ultra violet (EUV) machines).

    L'invention concerne une platine de transport linéaire à lévitation magnétique qui fait appel à un flux de polarisation d'aimant permanent pour générer un couple/force de suspension/magnétique passif dans un premier ensemble de directions orthogonales à une direction de déplacement de platine de transport, un flux de moteur qui forme une onde progressive dans une direction de déplacement de platine de transport et une force de commande de suspension orthogonale à la direction de déplacement de platine de transport. Une telle platine de transport linéaire à lévitation magnétique est appropriée pour être utilisée dans des tâches de transport sous vide telles que conjointement avec des systèmes de photolithographie (par exemple, des machines à ultraviolets extrêmes (EUV)).


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    Title :

    MAGNETICALLY-LEVITATED TRANSPORTER


    Additional title:

    TRANSPORTEUR À LÉVITATION MAGNÉTIQUE


    Contributors:
    ZHOU LEI (author) / TRUMPER DAVID (author)

    Publication date :

    2019-10-24


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    English


    Classification :

    IPC:    B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen , PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / H02K Dynamoelektrische Maschinen , DYNAMO-ELECTRIC MACHINES



    Magnetically-Levitated Transporter

    ZHOU LEI / TRUMPER DAVID L | European Patent Office | 2021

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    S. A. Howard / C. DellaCorte / M. J. Dube et al. | NTIS | 2020