The present invention relates to a lifter for a transfer vehicle unit, which lifts transfer vehicle units so that the transfer vehicle units can be supplied to a running rail installed on a ceiling side of a semiconductor manufacturing plant or the transfer vehicle units can be retrieved from the running rail. The lifter for a transfer vehicle unit comprises: a transfer vehicle loading unit including a return rail which is formed in a rail shape corresponding to the running rail and can be connected to the running rail, and capable of temporarily loading the transfer vehicle units on the return rail; and a lifting unit formed as a link assembly composed of a plurality of link combinations that can be folded with each other, so that while keeping the transfer vehicle loading unit horizontal, the transfer vehicle loading unit is lifted to dock the return rail on the running rail. Therefore, the lifter for a transfer vehicle unit enables the transfer vehicle units to be easily supplied to or retrieved from the running rail.
본 발명은 반도체 제조 공장 내의 천장 측에 설치되는 주행 레일에 이송 차량 유닛을 투입하거나, 주행 레일로부터 이송 차량 유닛을 회수할 수 있도록 이송 차량 유닛을 승하강시키는 이송 차량 유닛 리프터에 관한 것으로서, 상기 주행 레일과 대응되는 레일 형상으로 형성되어 상기 주행 레일과 연결될 수 있는 반송 레일을 구비하여, 상기 반송 레일에 상기 이송 차량 유닛을 임시로 적재할 수 있는 이송 차량 적재부 및 상기 이송 차량 적재부를 수평 상태로 유지시킨 상태로 승하강시켜 상기 반송 레일을 상기 주행 레일과 도킹시킬 수 있도록, 서로 접철이 가능한 복수의 링크 조합으로 구성된 링크 조립체로 형성되는 리프팅부를 포함할 수 있다.
Lifter in transfer vehicle unit
이송 차량 유닛 리프터
2023-10-24
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66F HOISTING, LIFTING, HAULING, OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD , Hub-, Verhol- oder Schubvorrichtungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Vorrichtungen mit unmittelbarer Krafteinwirkung auf die Last |