According to one embodiment of the present invention, a sublimation purifying apparatus comprises: a vacuum chamber; a tube housing located in the vacuum chamber; a boat in close contact with the tube housing; and a heating part located adjacent to the outer surface of the boat and the outer surface of the tube housing. A material to be sublimated and purified is contained in the boat, and at least one of the boat and the tube housing is formed of metal.

    본 발명의 일 실시예에 따른 승화 정제 장치는 진공 챔버, 상기 진공 챔버 내에 위치하는 튜브 하우징, 상기 튜브 하우징에 밀착되어 있는 보우트 그리고 상기 보우트의 바깥면 및 상기 튜브 하우징 바깥면에 인접하여 위치하는 히팅부를 포함하고, 상기 보우트에 승화 정제 대상 물질이 담기고, 상기 보우트 및 상기 튜브 하우징 중 적어도 하나는 금속으로 형성된다.


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    Title :

    SUBLIMATION PURIFYING APPARATUS AND SUBLIMATION PURIFYING METHOD


    Additional title:

    승화 정제 장치 및 승화 정제 방법


    Contributors:

    Publication date :

    2020-03-20


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    Korean


    Classification :

    IPC:    H10K




    Powder Sublimation and Porosity Evolution in Sublimation Crystal Growth

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    Air purifying apparatus

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    Free access