The present invention relates to a vacuum chamber comprising a body formed on the outer surface thereof, an upper chamber, a lower body, a lifting frame, a fixing frame; and a support part. The upper chamber is detachably attached to the body. A rail is formed on the lifting frame and the fixing frame. A roller, a cylinder, and a repairing stopper are formed in the support part. Therefore, the present invention enables the easy installation, inspection, repair, and maintenance of a precise stage.
본 발명은 진공 챔버에 관한 것으로서, 외면에 구성되는 바디와, 상부 챔버와,하부 챔버와,승강 프레임과, 고정 프레임과, 지지부로 구성되어, 상부 챔버는 바디와 탈부착 가능하고, 상기 승강 프레임과 상기 고정 프레임에 레일이 구비되며, 상기 지지부에 롤러와, 실린더와 보수용 스톱퍼가 구비된다. 이와 같은 구조로 인하여 정밀스테이지 장착이 용이하고 점검, 보수 및 유지가 편리한 효과가 있다.
VACUUM CHAMBER USING LIFTING APPARATUS
리프팅 장치를 사용하는 진공 챔버
2016-09-29
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | B64G Raumfahrt , COSMONAUTICS |