The present invention relates to a transfer vehicle with an air cleaning function, capable of preventing dust from penetrating into a cassette receiving a mask used in a semiconductor manufacturing process and enabling its safe transfer. The transfer vehicle comprises: an upper frame; a mounting unit installed in an upper frame having a plurality of cassettes mounted thereon; an air cleaning unit purifying minute dusts, and installed in a side of the upper frame; a lower frame located on a lower part of the upper frame; a caster unit installed in the lower part of the lower frame; and a battery installed in the lower frame, supplying power to drive the air cleaning unit.
본 발명은 반도체 제조 공정으로 이용하는 마스크를 수용한 카세트에 먼지가 침투하는 것을 방지하고 안전한 이송이 가능하도록 하는 공기 청정기능을 가지는 이송용 대차에 관한 것이다. 이와 같은 이송용 대차는 상부 프레임과, 상기 상부 프레임 내부에 구비되며 복수의 카세트가 탑재되는 탑재부와, 상기 상부 프레임 측면에 구비되며 미세먼지를 정화하는 공기청정부와, 상기 상부 프레임 하부에 위치하는 하부 프레임과, 상기 하부 프레임 하부에 구비되는 캐스터부와, 상기 하부 프레임 내부에 구비되며 상기 공기청정부를 구동하기 위한 전원을 공급하는 배터리를 포함하는 것을 특징으로 한다.
TRANSFER VEHICLE WITH AIR CLEANING FUNCTION
공기 청정기능을 가지는 이송용 대차
2015-10-07
Patent
Electronic Resource
Korean
Vehicle dust fall cleaning system with sludge transfer function
European Patent Office | 2023
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