일 실시예에 따른 열 진공 챔버는 챔버 몸체, 상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 냉각기, 상기 챔버 몸체 외부에 배치되어 상기 챔버 몸체에 연결되는 펌프, 상기 챔버 몸체 내부에 적어도 일부가 배치되는 수분 트랩 장치 및 상기 펌프, 상기 냉각기 및 상기 수분 트랩 장치를 제어하는 제어부를 포함하고, 상기 수분 트랩 장치는 냉매 공급부 및 상기 냉매 공급부에 연결되고 상기 챔버 몸체 내부에 배치되는 포집부를 포함할 수 있다.
According to one embodiment, a thermal vacuum chamber comprises: a chamber body; a cooler disposed inside the chamber body; a pump disposed outside the chamber body and connected to the chamber body; a moisture trap device at least partially disposed inside the chamber body; and a control unit which controls the pump, the cooler, and the moisture trap device. The moisture trap device may include a refrigerant supply unit and a collection unit connected to the refrigerant supply unit and disposed inside the chamber body.
THERMAL VACUUM CHAMBER WITH MOISTURE TRAP DEVICE
수분 트랩 장치를 포함하는 열 진공 챔버
2024-08-20
Patent
Electronic Resource
Korean