본 발명은, 반도체 제조 설비용 호이스트 장치를 개시한다. 개시된 반도체 제조 설비용 호이스트 장치는, 반도체 제조 설비의 천장 또는 챔버에 설치되는 베이스 프레임과, 상기 베이스 프레임에 이동 가능하게 설치되며, 상기 챔버의 중량물을 고정하여 올리거나 내리기 위한 호이스트를 포함하며, 상기 호이스트는, 이동 롤러부를 통해 상기 베이스 프레임에 이동 가능하게 설치되는 이동 지지대와, 상기 중량물을 인양할 수 있도록 상기 이동 지지대에 결합되는 전동 윈치부와, 상기 전동 윈치부의 인양훅이 상기 이송 지지대와 상기 전동 윈치부에 충돌하는 것을 방지하도록 상기 전동 윈치부의 하측에 구비되어 상기 전동 윈치부의 구동 정지신호를 선택적으로 출력하는 안전 스톱퍼를 구비하는 것을 특징으로 한다.
Hoist apparatus for semiconductor manufacturing equipment
반도체 제조 설비용 호이스트 장치
2022-02-15
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | B66D Haspeln , CAPSTANS |
Hoist apparatus for semiconductor manufacturing equipment
European Patent Office | 2021
|Hoist apparatus for semiconductor manufacturing equipmen
European Patent Office | 2023
|HOIST OF THE SEMICONDUCTOR AND LCD MANUFACTURING EQUIPMENT
European Patent Office | 2016
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