본 발명의 시편 검사 장치는 편광 발생기; 상기 편광 발생기로부터 방출된 광의 경로가 목표 시편을 향하도록 변경시키는 반사경; 및 상기 편광 발생기와 베벨 기어(bevel gear)를 통해 회전가능하도록 연결되고, 상기 목표 시편으로부터 반사된 광이 들어오는 편광 분석기를 포함한다.
The present invention relates to a sample inspection device comprising: a polarization generator; a reflector for changing a path of light emitted from the polarization generator toward a target sample; and a polarization analyzer connected rotationally through the polarization generator and a bevel gear, and the polarization analyzer receiving light reflected from the target sample.
SAMPLE INSPECTING DEVICE AND DRONE COMPRISING THE SAME
시편 검사 장치 및 이를 포함하는 드론
2019-02-01
Patent
Electronic Resource
Korean
Flying drone for inspecting surfaces, and method for inspecting surfaces by such a flying drone
European Patent Office | 2023
|FLYING DRONE FOR INSPECTING SURFACES, AND METHOD FOR INSPECTING SURFACES BY SUCH A FLYING DRONE
European Patent Office | 2022
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