본 발명은 대차를 비접촉식으로 이송할 수 있도록 하여 대차와 기판의 무게 마찰로 인한 파티클 발생을 최소화시키기 위한 자기부상 기판 이송장치를 제공한다. 본 발명은 일측이 개방된 내부공간(21)을 갖는 단면이 'ㄷ'자 형상으로 이루어지고, 하부면에 복수 개의 자석(22)이 장착되는 대차(20)와; 지면에 고정되는 고정판(31)을 갖고, 상기 고정판(31)으로부터 수직으로 형성되는 수직판(32)을 갖는 고정프레임(30)과; 일측이 상기 고정프레임(30)의 수직판(32) 상부에 설치되고, 상기 대차(20)를 이송시키기 위한 롤러유닛(40)과; 일측이 상기 고정프레임(30)의 수직판(32) 상부에 설치된 상기 롤러유닛(40)과 이격되어 설치되고, 상부에 자석(51)이 장착되며, 상기 롤러유닛(40)에 의해 상기 대차(20)가 이동시 상기 대차(20)를 부상시키기 위한 부상유닛(50)과; 상기 대차(20)의 하부에 설치되고, 외주면 상에 복수 개의 자석(61)이 장착된 롤러(62)를 갖는 구동부(60)를 포함하여, 상기 롤러유닛(40)과 상기 부상유닛(50)은 정해진 간격으로 이격되어 순차적으로 상기 고정프레임(30)의 수직판(32) 상부에 설치되고, 상기 롤러유닛(40)과 상기 부상유닛(50)의 타단은 상기 대차(20)의 개방된 부분을 통해 상기 내부공간(21)에 위치되어 상기 대차(20)를 부상시켜 이송하는 것을 특징으로 한다.
Maglev-type substrate transfer apparatus
자기부상 기판 이송장치
2017-06-20
Patent
Electronic Resource
Korean
IPC: | B65G TRANSPORT OR STORAGE DEVICES, e.g. CONVEYORS FOR LOADING OR TIPPING, SHOP CONVEYOR SYSTEMS OR PNEUMATIC TUBE CONVEYORS , Transport- oder Lagervorrichtungen, z.B. Förderer zum Laden oder Abladen / H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B61B RAILWAY SYSTEMS , Eisenbahnanlagen / G02F DEVICES OR ARRANGEMENTS, THE OPTICAL OPERATION OF WHICH IS MODIFIED BY CHANGING THE OPTICAL PROPERTIES OF THE MEDIUM OF THE DEVICES OR ARRANGEMENTS FOR THE CONTROL OF THE INTENSITY, COLOUR, PHASE, POLARISATION OR DIRECTION OF LIGHT, e.g. SWITCHING,... , Vorrichtungen oder Anordnungen, deren optische Arbeitsweise durch Änderung der optischen Eigenschaften des Mediums der Vorrichtungen oder Anordnungen geändert wird zum Steuern der Intensität, Farbe, Phase, Polarisation oder der Richtung von... / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen |
TIBKAT | 1992
|WIRELESS CHARGING LIM TYPE MAGLEV HYBRID VEHICLE APPARATUS AND METHOD
European Patent Office | 2015
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