본 발명은 화학물질 용기를 운반하는 카트에 관한 것으로서, 상세하게는 반도체 공정에서 웨이퍼 패턴 형성을 위해 공급되는 화학물질 용기를 운반할 때에 사용자에게 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 제공하는 카트에 관한 것이다. 이를 위하여, 본 발명에 따른 제1 식별태그가 부착되어 있는 화학물질 용기를 운반하는 카트는 상기 화학물질 용기가 놓이는 각 홀더에 설치되며 상기 화학물질 용기에 부착된 제1 식별태그를 인식하는 제1 리더기와, 상기 화학물질 용기를 사용하여 제조공정을 수행하는 제조장비에 부착된 제2 식별태그를 인식하는 제2 리더기와, 상기 제1 리더기 및 제2 리더기와 근거리 통신을 통해 연결되어 상기 제1 리더기로부터 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 수신하고, 상기 제2 리더기로부터 제조장비에 대한 정보를 수신하는 단말장치를 포함하는 것을 특징으로 한다. 또한, 상기 단말장치는 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보를 화면에 표시하며, 상기 제조장비에 대한 정보를 관리 서버로 전송한 후 관리 서버로부터 제조장비의 화학물질 사용정보를 수신하여, 해당 제조장비에서 사용 가능한 화학물질이 상기 화학물질 정보 및 화학물질 용기의 위치정보가 표시된 화면에서 시각적으로 인식되도록 하는 것을 특징으로 한다.


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    Title :

    Cart Carrying Chemical Bottles


    Additional title:

    화학물질 용기를 운반하는 카트


    Publication date :

    2017-03-22


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    Korean


    Classification :

    IPC:    B62B Von Hand bewegte Fahrzeuge, z.B. Handkarren oder Kinderwagen , HAND-PROPELLED VEHICLES, e.g. HAND CARTS OR PERAMBULATORS / G06K Erkennen von Daten , RECOGNITION OF DATA



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