To improve the performance of a semiconductor device.SOLUTION: A semiconductor device has a SiC power MISFET formation region MR and a SiC-SBD formation region DR. On an n type semiconductor substrate 11, an ntype epitaxial layer 12 is formed. In the ntype epitaxial layer 12, a ptype body region 14 is formed, and in the ptype body region 14, an ntype source region 19 and an ntype current diffusion region 18 are formed. A gate electrode 21 is formed in a trench TR that penetrates the ntype source region 19 and reaches the ptype body region 14. A source wiring electrode 2 is formed on an interlayer insulating film 22, and the source wiring electrode 2 is electrically connected to the ntype source region 19 in the SiC power MISFET formation region MR via a barrier metal film 23, and electrically connected to the ntype epitaxial layer 12 in the SiC-SBD formation region DR.SELECTED DRAWING: Figure 3

    【課題】半導体装置の性能を向上させる。【解決手段】半導体装置は、SiCパワーMISFET形成領域MRおよびSiC−SBD形成領域DRを有する。n型の半導体基板11上には、n-型のエピタキシャル層12が形成されている。n-型のエピタキシャル層12内には、p+型のボディ領域14が形成され、p+型のボディ領域14内には、n++型のソース領域19およびn+型の電流拡散領域18が形成されている。n++型のソース領域19を貫通し、p+型のボディ領域14に達するトレンチTR内には、ゲート電極21が形成されている。層間絶縁膜22上には、ソース配線用電極2が形成され、ソース配線用電極2は、バリアメタル膜23を介して、SiCパワーMISFET形成領域MRにおいて、n++型のソース領域19に電気的に接続し、SiC−SBD形成領域DRにおいて、n-型のエピタキシャル層12に電気的に接続している。【選択図】図3


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    Title :

    SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURING METHOD THEREOF, POWER CONVERSION DEVICE, THREE-PHASE MOTOR SYSTEM, AUTOMOBILE, AND RAILWAY VEHICLE


    Additional title:

    半導体装置およびその製造方法、電力変換装置、3相モータシステム、自動車並びに鉄道車両


    Contributors:
    TEGA NAOKI (author) / MATSUMOTO DAISUKE (author) / SUTO TAKERU (author) / WATANABE NAOKI (author) / MASUDA TORU (author)

    Publication date :

    2020-03-12


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    Japanese


    Classification :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B60L PROPULSION OF ELECTRICALLY-PROPELLED VEHICLES , Antrieb von elektrisch angetriebenen Fahrzeugen



    SILICON CARBIDE SEMICONDUCTOR DEVICE, POWER CONVERSION DEVICE, THREE-PHASE MOTOR SYSTEM, AUTOMOBILE, AND RAILWAY VEHICLE

    SUTO TAKERU / TEGA NAOKI / WATANABE NAOKI et al. | European Patent Office | 2022

    Free access

    Silicon carbide semiconductor device, power conversion device, three-phase motor system, automobile, and railway vehicle

    SUTO TAKERU / TEGA NAOKI / WATANABE NAOKI et al. | European Patent Office | 2024

    Free access