To provide a mirror unit that can hold a reflection mirror at a desired position regardless of a temperature change.SOLUTION: A mirror unit comprises: a reflection mirror 10; a mirror holder 20 that supports the reflection mirror 10 different in linear expansion coefficient from the reflection mirror 10; and at least one holding member 40 that is attached to the reflection mirror 10. The reflection mirror 10 is supported by the mirror holder 20 via the holding member 40, and the holding member 40 is slidable in one direction with respect to the mirror holder 20 in at least one part.SELECTED DRAWING: Figure 1
【課題】温度変化に拘わらず反射鏡を所望の位置に保持することができるミラーユニットを提供する。【解決手段】反射鏡10と、反射鏡10と線膨張係数の異なる反射鏡10を支持するミラーホルダ20と、反射鏡10に取り付けられた少なくとも1つの保持部材40とを備えている。反射鏡10は、保持部材40を介してミラーホルダ20に支持されており、保持部材40は、少なくとも一部においてミラーホルダ20に対して一の方向に摺動可能となっている。【選択図】図1
MIRROR UNIT
ミラーユニット
2019-07-04
Patent
Electronic Resource
Japanese