Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Diese umfasst eine Hebeeinrichtung für einen Anlagenteil oder ein Anlagenmodul, welche seitlich neben oder unter dem Anlagenteil oder dem Anlagenmodul angebracht ist.


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    Title :

    ANLAGE ZUR PROZESSIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN SOWIE HEBEEINRICHTUNG


    Additional title:

    INSTALLATION FOR PROCESSING SEMI-CONDUCTOR ELEMENTS AND LIFTING DEVICE
    INSTALLATION DE TRAITEMENT D'ÉLÉMENTS SEMI-CONDUCTEURS AINSI QUE DISPOSITIF DE LEVAGE


    Contributors:

    Publication date :

    2018-05-09


    Type of media :

    Patent


    Type of material :

    Electronic Resource


    Language :

    German


    Classification :

    IPC:    H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66F HOISTING, LIFTING, HAULING, OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD , Hub-, Verhol- oder Schubvorrichtungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Vorrichtungen mit unmittelbarer Krafteinwirkung auf die Last / F16H Getriebe , GEARING / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen , PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES



    Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen sowie Hebeeinrichtung

    BIRKNER ANDREAS / EVERS ARNDT / SCHADT SIMON | European Patent Office | 2018

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