Die Erfindung betrifft eine Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen. Diese umfasst eine Hebeeinrichtung für einen Anlagenteil oder ein Anlagenmodul, welche seitlich neben oder unter dem Anlagenteil oder dem Anlagenmodul angebracht ist.
ANLAGE ZUR PROZESSIERUNG VON HALBLEITERBAUELEMENTEN SOWIE HEBEEINRICHTUNG
INSTALLATION FOR PROCESSING SEMI-CONDUCTOR ELEMENTS AND LIFTING DEVICE
INSTALLATION DE TRAITEMENT D'ÉLÉMENTS SEMI-CONDUCTEURS AINSI QUE DISPOSITIF DE LEVAGE
2018-05-09
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | H01L Halbleiterbauelemente , SEMICONDUCTOR DEVICES / B66F HOISTING, LIFTING, HAULING, OR PUSHING, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR, e.g. DEVICES WHICH APPLY A LIFTING OR PUSHING FORCE DIRECTLY TO THE SURFACE OF A LOAD , Hub-, Verhol- oder Schubvorrichtungen, soweit nicht anderweitig vorgesehen, z.B. Vorrichtungen mit unmittelbarer Krafteinwirkung auf die Last / F16H Getriebe , GEARING / G03F Fotomechanische Herstellung strukturierter oder gemusterter Oberflächen, z.B. zum Drucken, zum Herstellen von Halbleiterbauelementen , PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES |
Anlage zur Prozessierung von Halbleiterbauelementen sowie Hebeeinrichtung
European Patent Office | 2018
|HEBEEINRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM STEUERN EINER HEBEEINRICHTUNG
European Patent Office | 2019
|European Patent Office | 2021
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