Piezoelektrischer Schreitantrieb (1), umfassend wenigstens eine piezoelektrische Antriebsvorrichtung (2) mit wenigstens zwei unabhängig voneinander antreibbaren Antriebsabschnitten (21, 22), auf die jeweils wenigstens zwei piezoelektrische Aktuatoren (213, 214, 223, 224) wirken, und einen Läufer (3), der bei Beaufschlagung der Aktuatoren (213, 214, 223, 224) mit Steuerspannungen einen Vorschub durch wenigstens einen der Antriebsabschnitte (21, 22) erfährt, wobei die Antriebsvorrichtung (2) näherungsweise in Form eines Dreiecks ausgebildet ist, an dessen Spitze die Antriebsabschnitte (21, 22) angeordnet sind, die Antriebsvorrichtung (2) spiegelsymmetrisch zu einer Symmetrieebene, die die Vorschubrichtung des Läufers (3) einschließt und zwischen den Antriebsabschnitten (21, 22) derselben Antriebsvorrichtung verläuft, aufgebaut ist, und wenigstens einer der Antriebsabschnitte (21, 22) in Abwesenheit von an den Aktuatoren (213, 214, 223, 224) anliegenden Steuerspannungen gegen den Läufer (3) vorgespannt ist, dadurch gekennzeichnet, dass wenigstens einer der Antriebsabschnitte (21, 22) in Abwesenheit von an den Aktuatoren (213, 214, 223, 224) anliegenden Steuerspannungen derart gegen den Läufer (3) vorgespannt ist, dass dieser den Vorschub des Läufers (3) blockiert, wobei jeder der Antriebsabschnitte (21, 22) einzeln federnd gegenüber einer Basis (201) des Dreiecks gelagert ist.
A piezoelectric stepper drive includes a piezoelectric drive apparatus with at least two drive sections, each acted upon by at least two piezoelectric actuators, and a driven member which is advanced by at least one of the drive sections when control voltages are applied to the actuators. The drive apparatus is configured approximately in the shape of a triangle, at the tip of which the drive sections are arranged. At least one of the drive sections is biased against the driven member, in the absence of control voltages applied to the actuators, such that the drive section blocks advance of the driven member, where each of the drive sections is mounted individually resilient relative to a base of the triangle.
Piezoelektrischer Schreitantrieb
2018-01-18
Patent
Electronic Resource
German
MEMS-basierter piezoelektrischer Energiewandler
IuD Bahn | 2007
|ZUR ANPRESSDRUCKSTEUERUNG KONFIGURIERTER PIEZOELEKTRISCHER BALG
European Patent Office | 2020
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