Mikroelektronisches-Modul (100) zur Reinigung einer Oberfläche, aufweisend:wenigstens einen Spannungswandler (101) zur Umwandlung einer bereitgestellten ersten Spannung (VI) in eine höhere, niedrigere oder identische zweite Spannung (V2);wenigstens einen Aktuator (102), aufweisend wenigstens einen Generator (103) zur Erzeugung eines Ionenstroms, eines elektrischen Plasmas, von Oberflächenwellen und/ oder eines elektrostatischen Feldes aus der von dem Spannungswandler (101) bereitgestellten zweiten Spannung (V2);wobei wenigstens der Spannungswandler (101) und der Aktuator (102) auf einem dünnschichtigen flächigem Substrat (104) angeordnet sind; undwobei mittels des Aktuators (102) die wenigstens überwiegende Entfernung wenigstens eines an der Oberfläche haftenden Objekts erfolgt.
A microelectronic module for cleaning a surface is described. The microelectronic module comprises at least one voltage converter for converting a provided first voltage into a higher, lower, or identical second voltage. The module also comprises at least one actuator. The actuator comprises at least one generator for generating an ionic current, an electrical plasma, harmonic components and/or an electrostatic field from the second voltage which is provided by the voltage converter. At least the voltage converter and the actuator are disposed on a thin-film, planar substrate. At least most of at least one object adhering to the surface is removed by the actuator.
Mikroelektronisches Modul zur Reinigung einer Oberfläche, Modularray und Verfahren zur Reinigung einer Oberfläche
2020-06-18
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | B64D Ausrüstung für Flugzeuge , EQUIPMENT FOR FITTING IN OR TO AIRCRAFT / B08B Reinigen allgemein , CLEANING IN GENERAL / B60S SERVICING, CLEANING, REPAIRING, SUPPORTING, LIFTING, OR MANOEUVRING OF VEHICLES, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR , Warten, Reinigen, Instandsetzen, Unterstützen, Anheben oder Rangieren von Fahrzeugen, soweit nicht anderweitig vorgesehen / B64C AEROPLANES , Flugzeuge |
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