Mikro-elektromechanische (MEMS) Strommessvorrichtung, aufweisend: einen Trägerabschnitt (306); einen optischen Abschnitt (301), der auf dem Trägerabschnitt (306) angeordnet ist, wobei der optische Abschnitt (301) einen optischen Pfad (402, 403) und ein magnetosensitives Element (401) in dem optischen Pfad (402, 403) enthält; eine Lichtquelle (302a), die auf dem Trägerabschnitt (306) in funktioneller Kommunikation mit einem ersten Ende des optischen Pfades (402) angeordnet ist; und einen Photodetektor (302b), der auf dem Trägerabschnitt (306) in funktioneller Kommunikation mit einem zweiten Ende des optischen Pfades (302b) angeordnet ist; und wobei in dem optische Abschnitt (301) optische Wellenleiter (402) und (403) angeordnet sind, die den optischen Pfad bereitstellen, sodass Licht zu/von der Lichtquelle bzw. dem Photodetektor wandern kann.
Mikroelektromechanische Strommessvorrichtung
2020-06-18
Patent
Electronic Resource
German
IPC: | G01R Messen elektrischer Größen , MEASURING ELECTRIC VARIABLES / B64D Ausrüstung für Flugzeuge , EQUIPMENT FOR FITTING IN OR TO AIRCRAFT / B81B Mikrostrukturbauelemente oder -systeme, z.B. mikromechanische Bauelemente , MICROSTRUCTURAL DEVICES OR SYSTEMS, e.g. MICROMECHANICAL DEVICES / F03D Windkraftmaschinen , WIND MOTORS |
Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme
TIBKAT | 2016
|Piezoelektrische Aluminiumnitrid-Dünnschichten für mikroelektromechanische Systeme
BASE | 2016
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